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集成電路用超純水設(shè)備
【集成電路用超純水設(shè)備介紹】：
集成電路用超純水設(shè)備是采用預(yù)處理、反滲透技術(shù)、超純化處理以及后級(jí)處理等方法，將水中的導(dǎo)電介質(zhì)幾乎完全去除，又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體及有機(jī)物均去除至很低程度的水處理設(shè)備。


【集成電路用超純水設(shè)備簡(jiǎn)介】：
超純水最初是美國(guó)科技界為了研制超純材料(半導(dǎo)體原件材料、納米精細(xì)陶瓷材料等)應(yīng)用蒸餾、去離子化、反滲透技術(shù)或其它適當(dāng)?shù)某R界精細(xì)技術(shù)生產(chǎn)出來(lái)的水，如今超純水已在生物、醫(yī)藥、汽車等領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。這種水中除了水分子(H20)外，幾乎沒(méi)有什么雜質(zhì)，更沒(méi)有細(xì)菌、病毒、含氯二惡英等有機(jī)物，當(dāng)然也沒(méi)有人體所需的礦物質(zhì)微量元素，超純水無(wú)硬度，口感較甜，又常稱為軟水，可直接飲用，也可煮沸飲用。超純水,是一般工藝很難達(dá)到的程度，如水的電阻率大于18MΩ*cm，接近于18.3MΩ*cm則稱為超純水。
【集成電路用超純水設(shè)備組成部分及處理方法】：
采用預(yù)處理、反滲透技術(shù)、超純化處理以及后級(jí)處理等方法，將水中的導(dǎo)電介質(zhì)幾乎完全去除，又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體及有機(jī)物均去除至很低程度的水處理設(shè)備。
超純水系統(tǒng)設(shè)備的脫鹽核心部件為進(jìn)口反滲透膜組件，超純水系統(tǒng)設(shè)備通常由預(yù)處理部分，反滲透主機(jī)部分，后處理部分共同組成。
1、預(yù)處理由石英砂過(guò)濾器、活性碳過(guò)濾器、全自動(dòng)軟水器、精密過(guò)濾器組成(我司采用全自動(dòng)控制閥頭)，也可選用超濾系統(tǒng)作為預(yù)處理，但通常工程造價(jià)要高。預(yù)處理主要目的是去除原水中含有的泥沙，鐵銹、膠體物質(zhì)、懸浮物、色度、異味、生化有機(jī)物。當(dāng)原水中硬度較高時(shí)，可選擇全自動(dòng)軟水器，這樣有效的保護(hù)了反滲透膜，從而延長(zhǎng)了反滲透膜的使用壽命。
2、反滲透主機(jī)主要由高壓泵、膜殼、進(jìn)口反滲透膜組件，在線儀表、控制電氣等組成。只要膜的數(shù)量及泵的型號(hào)選型得當(dāng)，反滲透主機(jī)脫鹽率及產(chǎn)水量都能達(dá)到額定指標(biāo)，出水電導(dǎo)率可保證在≤10us. CM以下，(原水電導(dǎo)率小于500us/cm,工作溫度：1～40℃)
3、后處理部分是對(duì)反滲透制取的純水作進(jìn)一步的深化處理以制取超純水，通常是離子交換混床設(shè)備或EDI設(shè)備，根據(jù)客戶要求，出水阻率可達(dá)到18.2MΩ.CM，如果是應(yīng)用在直飲水工藝上，則加上殺菌裝置即可，通常為紫外線殺菌器或者臭氧發(fā)生器，從而使生產(chǎn)出來(lái)的水達(dá)到直飲標(biāo)準(zhǔn)。
交換反應(yīng)在模組的純化學(xué)室進(jìn)行，在那里陰離子交換樹脂用它們的氫氧根據(jù)離子(OH)來(lái)交換溶解鹽中的陰離了(如氯離子Cl)。相應(yīng)地，陽(yáng)離子交換樹脂用它們的氫離子(H)來(lái)交換溶解鹽中的陽(yáng)離子(如Na)。
在位于模組兩端的陽(yáng)極(+)和陰極(-)之間加一直流電場(chǎng)。電勢(shì)就使交換到樹脂上的離子沿著樹脂粒的表面遷移并通過(guò)膜進(jìn)入濃水室。陽(yáng)極吸引負(fù)電離子(如OH，CI)這些離子通過(guò)陰離子膜進(jìn)入相臨的濃水流卻被陽(yáng)離子選擇膜阻隔，從而留在濃水流中。陰極吸引純水流中的陽(yáng)離子(如H，Na)。這些離子穿過(guò)陽(yáng)離子選擇膜，進(jìn)入相臨的濃水流卻被陰離子膜陰隔，從而留在濃水流中。當(dāng)水流過(guò)這兩種平行的室時(shí)，離子在純水室被除去并在相臨的濃水流中聚積，然后由濃水流將其從模組中帶走。在純水及濃水中離子交換樹脂的使用是ElectropupreEDI技術(shù)和專利的關(guān)鍵。一個(gè)重要的現(xiàn)象在純水室的離子交換樹脂中發(fā)生。在電勢(shì)差高的局部區(qū)域，電化學(xué)反應(yīng)分解的水產(chǎn)生大量的H和OH。在混床離子交換樹脂中局部H和OH的產(chǎn)生使樹脂和膜不需要添加化學(xué)藥品就可以持續(xù)再生。


【集成電路用超純水設(shè)備工作原理】：
1. 水進(jìn)入純化系統(tǒng)，主要部分流入樹脂 / 膜內(nèi)部，而另一部分沿模板外側(cè)流動(dòng)，以洗去透出膜外的離子。
2. 樹脂截留水中的溶存離子。
3. 被截留的離子在電極作用下，陰離子向正極方向運(yùn)動(dòng)，陽(yáng)離子向負(fù)極方向運(yùn)動(dòng)。
4. 陽(yáng)離子透過(guò)陽(yáng)離子膜，排出樹脂 / 膜之外。
5. 陰離子透過(guò)陰離子膜，排出樹脂 / 膜之外。
6. 濃縮了的離子從廢水流路中排出。
7. 去離子水從樹脂 / 膜內(nèi)流出。
【集成電路用超純水設(shè)備特點(diǎn)】：
1: 整體化程度高 , 易于擴(kuò)展 , 增加膜數(shù)量即可增加處理量。
2: 自動(dòng)化程度高 , 遇故障立即自停 , 具有自動(dòng)保護(hù)功能。
3: 膜組件為復(fù)合膜卷制而成 , 表現(xiàn)出更高的溶質(zhì)分離率和透過(guò)速率。
4: 能耗低 , 水利用率高 , 運(yùn)行成本低。
5: 結(jié)構(gòu)合理 , 占地面積少。
6: 先進(jìn)的膜保護(hù)系統(tǒng) , 在設(shè)備關(guān)機(jī) , 淡化水可自動(dòng)將膜面污染物沖洗干凈 , 延長(zhǎng)膜壽命。
7 系統(tǒng)無(wú)易損部件 , 無(wú)須大量維修 , 運(yùn)行長(zhǎng)期有效。
8: 設(shè)備設(shè)計(jì)有膜清洗系統(tǒng)用阻垢系統(tǒng)。


【集成電路用超純水設(shè)備工藝流程】：
醫(yī)藥行業(yè)制備超水的工藝大致分成以下幾種：
1、原水→原水加壓泵→多介質(zhì)過(guò)濾器→活性炭過(guò)濾器→軟水器→精密過(guò)濾器→一級(jí)反滲透 設(shè)備→中間水箱→中間水泵→離子交換器→純化水箱→純水泵→紫外線殺菌器→微孔過(guò)濾器→用水點(diǎn)
2、原水→原水加壓泵→多介質(zhì)過(guò)濾器→活性炭過(guò)濾器→軟水器→精密過(guò)濾器→第一級(jí)反滲透 →PH調(diào)節(jié)→中間水箱→第二級(jí)反滲透(反滲透膜表面帶正電荷)→純化水箱→純水泵→紫外線殺菌器→ 微孔過(guò)濾器→用水點(diǎn)
3、原水→原水加壓泵→多介質(zhì)過(guò)濾器→活性炭過(guò)濾器→軟水器→精密過(guò)濾器→一級(jí)反滲透機(jī)→中間水箱→中間水泵→EDI系統(tǒng)→純化水箱→純水泵→紫外線殺菌器→微孔過(guò)濾器→用水點(diǎn)


【集成電路用超純水設(shè)備主要用途】：
1、超純材料和超純?cè)噭┑纳a(chǎn)和清洗。
2、電子產(chǎn)品的生產(chǎn)和清洗。
3、電池產(chǎn)品的生產(chǎn)。
4、半導(dǎo)體產(chǎn)品的生產(chǎn)和清洗。
5、電路板的生產(chǎn)和清洗。
6、其他高科技精細(xì)產(chǎn)品的生產(chǎn)。


【集成電路用超純水設(shè)備水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)】：
出水水質(zhì)
電阻率>15MΩ.cm
行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)
超純水水質(zhì)分為五個(gè)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以區(qū)分不同水質(zhì)。
【集成電路用超純水設(shè)備制取要求】：
新興的光電材料生產(chǎn)、加工、清洗；LCD液晶顯示屏、PDP等離子顯示屏、高品質(zhì)燈管顯像管、微電子工業(yè)、FPC/PCB線路板、電路板、大規(guī)模、超大規(guī)模集成電路需用大量的高純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高，對(duì)水質(zhì)的要求也越高，這也對(duì)超純水處理工藝及產(chǎn)品的簡(jiǎn)易性、自動(dòng)化程度、生產(chǎn)的連續(xù)性、可持續(xù)性等提出了更加嚴(yán)格的要求。
【集成電路用超純水設(shè)備工藝種類】：
離子交換方式
其流程如下：
原水→原水加壓泵→多介質(zhì)過(guò)濾器→活性炭過(guò)濾器→軟水器→精密過(guò)濾器→陽(yáng)樹脂過(guò)濾床→陰樹脂過(guò)濾床→陰陽(yáng)樹脂混床→微孔過(guò)濾器→用水點(diǎn)
間歇式離子交換
這種操作方式是將離子交換樹脂和待處理的原水混合加以適當(dāng)攪拌，基本達(dá)到交換平衡，使平衡后的水質(zhì)萍蹤設(shè)計(jì)需求。此方式通常用于小型生產(chǎn)或?qū)嶒?yàn)需要。
固定床離子交換
是一種最常用的離子交換方式，是將離子交換樹脂置于交換柱內(nèi)，被處理的原水以一定流速流經(jīng)樹脂床層，達(dá)到交換目的。此方式設(shè)備簡(jiǎn)單，操作方便，實(shí)用于各種規(guī)模的生產(chǎn)，但是其樹脂的利用率較低，再生費(fèi)用較高。雙級(jí)反滲透方式
其流程如下：
原水→原水加壓泵→多介質(zhì)過(guò)濾器→活性炭過(guò)濾器→軟水器→精密過(guò)濾器→一級(jí)反滲透 →PH調(diào)節(jié)→中間水箱→二級(jí)反滲透→純水箱→純水泵→微孔過(guò)濾器→用水點(diǎn)。
EDI方式
EDI超純水設(shè)備技術(shù)的優(yōu)點(diǎn)
EDI超純水設(shè)備被制藥行業(yè)、微電子行業(yè)、發(fā)電行業(yè)和實(shí)驗(yàn)室所普遍接受。在表面清洗、表面涂裝、電解行業(yè)、化工行業(yè)和太陽(yáng)能光伏行業(yè)的應(yīng)用也日趨廣泛。
EDI可代替?zhèn)鹘y(tǒng)的混合離子交換技術(shù)（MB-DI）生產(chǎn)穩(wěn)定的去離子水。EDI技術(shù)與混合離子交換技術(shù)相比有以下優(yōu)點(diǎn)： 1.離子交換樹脂的用量少，約相當(dāng)于傳統(tǒng)離子交換法樹脂用量的5%。
2.離子交換樹脂不需酸，堿化學(xué)再生，節(jié)約大量酸、堿和清洗用水，大大降低勞動(dòng)強(qiáng)度。
3.無(wú)廢酸、廢堿液排放，是清潔的生產(chǎn)技術(shù)，屬環(huán)保產(chǎn)品。
4.過(guò)程易實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制，產(chǎn)水水質(zhì)穩(wěn)定，與RO等水處理技術(shù)相結(jié)合，能形成完善的純水、超純水生產(chǎn)線。 5.產(chǎn)水水質(zhì)高，可達(dá)到國(guó)家電子級(jí)水I級(jí)標(biāo)準(zhǔn)，電阻率為15～18MΩ·cm，細(xì)菌內(nèi)毒素 含量小于0.1mg/L可完全滿 足《中國(guó)藥典》《美國(guó)藥典》對(duì)藥用水的要求。
6.有優(yōu)異的除弱解離物質(zhì)（如二氧化碳、硅、硼、氨等）地能力，更適用于超純水的需要。
7.純水生產(chǎn)過(guò)程連續(xù)進(jìn)行，無(wú)需像離子交換床那樣一套在用一套再生地重復(fù)設(shè)置
在國(guó)內(nèi)專注EDI超純水設(shè)備的廠商并不多，匯通源環(huán)保科技生產(chǎn)出來(lái)的EDI超純水設(shè)備是這個(gè)行業(yè)的領(lǐng)先者。匯通源與國(guó)內(nèi)眾多大型企業(yè)合作,制藥行業(yè)、微電子行業(yè),化工行業(yè)等。其中客戶有深圳惠民制藥有限公司、深圳市鎧瑞麟科技有限公司、東莞市易升電池有限公司、深圳美景金屬制品有限公司、深圳艾柯森自動(dòng)化設(shè)備有限公司等等.均由我們提供EDI超純水設(shè)備。我司希望在這方面的技術(shù)能得到更多客戶的認(rèn)可，從而能更進(jìn)一步推廣EDI技術(shù)在水處理行業(yè)發(fā)展的重要性。
EDI的工作原理
EDI模塊(膜堆)是EDI工作的核心。一個(gè)簡(jiǎn)單的EDI膜堆主要由兩個(gè)電性相反的電極和多個(gè)模塊單元對(duì)組成，一個(gè)膜單元對(duì)由一個(gè)填滿陽(yáng)離子和陰離子交換樹脂的淡水室(D-室)、一個(gè)陽(yáng)膜、一個(gè)陰膜、一個(gè)濃水室(C-室)組成。EDI膜堆包含多個(gè)膜單元對(duì)。在每個(gè)膜堆的內(nèi)部有兩個(gè)帶有600V電壓的電極，這是通過(guò)每個(gè)膜堆必需的電壓。正極帶正電壓，負(fù)極帶負(fù)電壓，電流在正極和負(fù)極之間通過(guò)30個(gè)膜單元。任一個(gè)淡水室都包含著陽(yáng)樹脂和陰樹脂，它相當(dāng)于一個(gè)8千米厚的混床。一個(gè)陽(yáng)膜朝著陰極的方向把淡水室和濃水室分開，在另外一邊，陰膜也把淡水市和濃水室分開。EDI用的膜和反滲透用的膜很不相同，反滲透用的膜允許小顆粒的分子污染物和離子以及水通過(guò)，而EDI膜象離子交換樹脂一樣是用聚苯乙烯材料制作的，只允許帶適當(dāng)電荷的離子通過(guò)，水基本上不能通過(guò)。樹脂通過(guò)水的分離持續(xù)的再生。
在電場(chǎng)中，給水中的水分子被分離成H+和OH- ，被異性電荷相吸，H+通過(guò)陽(yáng)陽(yáng)樹脂移向陰極的方向，OH-通過(guò)陰樹脂移向陽(yáng)極的方向。這種H+和OH-的遷移再生了樹脂，陽(yáng)膜允許H+通過(guò)進(jìn)入濃水室，陰膜允許 OH-通過(guò)也進(jìn)入濃水室，H+和OH-結(jié)合生成生產(chǎn)的水。濃水室中自己水的流動(dòng)將帶走水中的陰陽(yáng)離子。膜阻止帶相反電荷的離子的進(jìn)入淡水室在水流通過(guò)淡水室的過(guò)程中，離子被樹脂去處，所以膜的有效側(cè)(淡水室)就會(huì)產(chǎn)生純水。
運(yùn)行流程如下：
原水→原水加壓泵→多介質(zhì)過(guò)濾器→活性炭過(guò)濾器→軟水器→精密過(guò)濾器→一級(jí)反滲透主機(jī)→中間水箱→中間水泵→EDI系統(tǒng)→微孔過(guò)濾器→用水點(diǎn)
【集成電路用超純水設(shè)備工藝流程】：
1、預(yù)處理系統(tǒng)→反滲透系統(tǒng)→中間水箱→粗混合床→精混合床→純水箱→純水泵→紫外線殺菌器→拋光混床→精密過(guò)濾器→用水對(duì)象 （≥18MΩ.CM）(傳統(tǒng)工藝)。
2、預(yù)處理→反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→純化水箱→純水泵→紫外線殺菌器→拋光混床→0.2或0.5μm精密過(guò)濾器→用水對(duì)象（≥18MΩ.CM）(最新工藝)。
3、預(yù)處理→一級(jí)反滲透→加藥機(jī)（PH調(diào)節(jié)）→中間水箱→第二級(jí)反滲透（正電荷反滲膜）→純水箱→純水泵→EDI裝置→紫外線殺菌器→0.2或0.5μm精密過(guò)濾器→用水對(duì)象（≥17MΩ.CM）(最新工藝)。
4、預(yù)處理→反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→純水箱→純水泵→紫外線殺菌器→0.2或0.5μm精密過(guò)濾器→用水對(duì)象（≥15MΩ.CM）(最新工藝)。
5、預(yù)處理系統(tǒng)→反滲透系統(tǒng)→中間水箱→純水泵→粗混合床→精混合床→紫外線殺菌器→精密過(guò)濾器→用水對(duì)象 （≥15MΩ.CM）(傳統(tǒng)工藝)以上工藝各有各的優(yōu)勢(shì)，你可以根據(jù)你自身的情況選購(gòu)適合你的工藝。隨著科學(xué)的發(fā)展，很多新的工藝已經(jīng)替代了舊的工藝。用反滲透法制取高純水已經(jīng)普及，也是最為現(xiàn)今的工藝。


【集成電路用超純水設(shè)備應(yīng)用系統(tǒng)】：
1、電子、半導(dǎo)體行業(yè)：制取電子工業(yè)生產(chǎn)如單晶硅半導(dǎo)體集成電路塊，顯象管，玻殼，液晶顯示器等制造工業(yè)用純水、超純水機(jī)。
2、醫(yī)藥行業(yè)用水：制藥、制劑工藝用水，醫(yī)療血液透析、生化分析、輸液等。
3、鍋爐水處理：石油、化工、煉油、火力發(fā)電、電力、制取熱力、冶金、食品、造紙等行業(yè)中鍋爐，廠礦企業(yè)高、中、低壓鍋爐給水所需軟化水、除鹽純水。
4、飲料行業(yè)：飲用純凈水、蒸餾水、天然水、礦泉水、礦化水、酒類生產(chǎn)白酒勾兌用純水、啤酒糖化投料用水及純生啤酒過(guò)濾等。
5、賓館、樓宇、社區(qū)優(yōu)質(zhì)供水網(wǎng)絡(luò)系統(tǒng)及游泳池水質(zhì)凈化。
6、制取電鍍工藝用去離子水、電池(蓄電池)生產(chǎn)工藝的純水，汽車、家用電器、建材產(chǎn)品表面涂裝、清洗純水，鍍膜玻璃用純水，紡織印染工藝所需的除硬鹽水。
7、石油化工行業(yè)：如化工反應(yīng)冷卻、化學(xué)藥劑、化肥及精細(xì)化工、化妝品制造過(guò)程用工藝純水
【集成電路用超純水設(shè)備應(yīng)用領(lǐng)域】：
EDI超純水設(shè)備應(yīng)用于電池行業(yè)領(lǐng)域，超純水設(shè)備在工業(yè)行業(yè)中的應(yīng)該領(lǐng)域很是廣泛。電池行業(yè)用超純水包括蓄電池生產(chǎn)用純水，鋰電池生產(chǎn)用純水，太陽(yáng)能電池生產(chǎn)用純水，蓄電池格板用純水。電池中電解液的配備對(duì)純水要求十分嚴(yán)格, 通常要求水的電導(dǎo)率在0.1us/cm(電阻值在10兆歐姆)以上，傳統(tǒng)用來(lái)制備電池用超純水的工藝是常采用陰陽(yáng)樹脂交換設(shè)備，該工藝的缺點(diǎn)在于樹脂在使用一段時(shí)間以后要經(jīng)常再生。
1、電子、電力、電鍍、照明電器、實(shí)驗(yàn)室、食品、造紙、日化、建材、造漆、蓄電池、化驗(yàn)、生物、制藥、石油、化工、鋼鐵、玻璃等領(lǐng)域。
2、化工工藝用水、化學(xué)藥劑、化妝品等用純水。
3.單晶硅、半導(dǎo)體晶片切割制造、半導(dǎo)體芯片、半導(dǎo)體封裝 、引線柜架、集成電路、液晶顯示器、導(dǎo)電玻璃、顯像管、線路板、光通信、電腦元件 、電容器潔凈產(chǎn)品及各種元器件等生產(chǎn)工藝用純水。
4.食品工業(yè)用水:飲用純凈水、礦泉水、資料、啤酒、乳業(yè)等。
5.海水、苦咸水淡化：海島、艦船、高鹽堿地區(qū)生活用水改善。
6.樓宇、社區(qū)優(yōu)質(zhì)供水:星級(jí)賓館、機(jī)場(chǎng)、房產(chǎn)物業(yè)純水網(wǎng)絡(luò)系統(tǒng)等。
7.化工行業(yè)工藝用水：化工冷卻、化肥、化學(xué)藥劑制造。
8.工業(yè)產(chǎn)品制造用水：汽車、家電涂裝、涂料、油漆、精細(xì)加工清洗等。
9.電力行業(yè)鍋爐補(bǔ)給水:熱力、火力發(fā)電鍋爐、中、低壓鍋爐動(dòng)力系統(tǒng) 精細(xì)化工、精尖學(xué)科用水。
【恒碩集成電路用超純水設(shè)備常年大量庫(kù)存現(xiàn)貨供應(yīng)】：
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